Linetech質(zhì)量流量控制器性能穩(wěn)定，性?xún)r(jià)比高，是設(shè)備配套的產(chǎn)品。
一、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
二、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量控制器 |
流量范圍(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
響應(yīng)時(shí)間 | <2 sec | <2 sec |
度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重復(fù)精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
輸入/輸出信號(hào) | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐壓 | <90bar | 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器接口尺寸
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