艾里卡特耐腐蝕氣體質量流量控制器采用全316L不銹鋼結構及密封的316L不銹鋼傳感器，可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料，如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術能以驚人的速度測量氣體質量流量，且具備一系列標準性能，如：200：1量程可調比、內置30種氣體可選、多功能數字顯示屏及有條件的終身質保等。

更新時間：2024-10-15

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一、艾里卡特耐腐蝕氣體質量流量控制器產品優勢

操作簡單

Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單，用戶可通過多功能數字顯示屏調節參數，無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。

精確控制

Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小，從而降低了系統運營的成本，且相比于同類產品，其壓損較低，降低壓損意味著更多氣體進入到系統中，而不是停留在測量&控制設備中。除質量流量外，Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量，是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。MCS系列的模塊化設計使其成為真空應用的佳選擇。

性能

MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，除了RS-232數字信號輸出，還配有多種模擬信號輸出。MS系列質量流量計亦有便攜式型號(MBS系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。

反應靈敏

與相應標準型M/MC系列相同，MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。

高重復性

Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，質量流量控制器主要應用于醫藥、半導體、燃料電池、如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

二、艾里卡特耐腐蝕氣體質量流量控制器標準性能

多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
316L不銹鋼本體&傳感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置130種常用氣體可選，開放COMPOSER? — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
200:1 量程可調比

三、性能參數

指標	ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數字）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
數字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）