ALICAT質量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質量流量和體積流量，美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。微小流量質量流量控制器Z小量程可控制0.5SCCM，ALICAT質量流量控制器內置130種氣體，大大節約用戶成本。反應時間快。

更新時間：2024-10-16

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一、微小流量質量流量控制器產品特點

1、50毫秒內完成穩定的控制響應

精確、穩定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩定！

擁有可靠的穩定性及響應速度，艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中，為快的質量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合，使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

2、操作便捷

? 50-100毫秒控制響應

? 允許用戶自行調節PID以獲得的速度和穩定性

? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性

? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力

? 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制

二、微小流量質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

控制響應快、穩定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環境氣體分析等應用的選擇；大量程：0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

三、常用選配項

? 后置閥門，優化真空及背壓應用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許設備用于危險環境

? 9針或15針D-Sub等連接接口可選

? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、性能參數

指標	質量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數字）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
數字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）